泛半導體鋁合金腔體法蘭解決方案（一）：鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案

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本文介紹采用鈦合金製造CF法蘭(lan) 、鋁合金製造法蘭(lan) 頸部的方案。鈦合金法蘭(lan) 滿足硬度要求的同時，鋁合金頸部便於(yu) 與(yu) 鋁合金腔體(ti) 進行焊接。由於(yu) 鈦和鋁的磁性較弱，使用這兩(liang) 種材料製成的組件是實現無磁性腔體(ti) 的選擇。

2026年世界杯官网科技提供的鈦與(yu) 鋁組合可旋轉法蘭(lan) ，具有通孔和螺紋孔兩(liang) 種形式，可通過螺絲(si) 固定，提供足夠的靈活性。此外，旋轉法蘭(lan) 的外部零件可選其他形狀，以便在需要時使用鏈型夾具，從(cong) 而縮短操作時間，這通常在輻射環境中尤為(wei) 重要。

在高真空或超高真空環境中，使用鈦和鋁合金製成的組件具有以下優(you) 勢：

1.低漏氣率：鈦和鋁的漏氣速率均較低，這對於(yu) 高真空和超高真空（UHV）係統至關(guan) 重要。使用這些材料製成的組件可減少汙染，維持更清潔的真空環境。

2.高強度與(yu) 耐用性：鈦金屬具有優(you) 異的強度重量比和耐腐蝕性，能夠承受高真空環境中的應力和機械負載，是製造真空組件的理想選擇。

3.兼容UHV環境：鈦金屬具有較低的蒸氣壓，並且與(yu) 腔體(ti) 內(nei) 殘餘(yu) 氣體(ti) 的反應性較小，因而能夠兼容UHV環境，這對於(yu) 維持UHV係統的完整性尤為(wei) 關(guan) 鍵。

4.使用壽命長：與(yu) 易放氣或腐蝕的材料相比，鈦製組件在高真空和UHV係統中的使用壽命更長。同時，鋁合金相比不鏽鋼價(jia) 格較低，長期使用下，鈦和鋁製組件的成本效益更高。

5.生物相容性：鈦的生物相容性在某些科學和醫學應用中非常有價(jia) 值，可以用於(yu) 在UHV環境中與(yu) 生物材料相關(guan) 的表麵科學研究中。

鈦材料的先進表麵工程

來源：https://doi.org/10.1016/j.bioactmat.2023.03.006

6.功能多樣性：鈦的功能多樣性使其在真空腔體(ti) 、實驗裝置以及各種UHV研究設備領域中具有廣泛的應用。

鈦製真空腔體(ti)

此外，由鈦和鋁合金製造的法蘭(lan) 係統可以直接裝配在鋁製腔體(ti) 上，並可與(yu) 市場上現有的所有CF密封圈兼容。

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