泛半導體鋁合金腔體法蘭解決方案（三）：O圈密封真空法蘭

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前述兩(liang) 種解決(jue) 方案均采用CF法蘭(lan) ，可應用於(yu) 超高真空係統中。然而在半導體(ti) 製造及相關(guan) 設備領域，高真空環境已經能夠滿足使用需求。例如，光刻機、薄膜沉積設備和刻蝕設備的內(nei) 部環境均為(wei) 高真空。這種情況下，采用KF、ISO以及其他定製的O圈密封法蘭(lan) 更具經濟效益。

KF法蘭(lan) 是一種小尺寸的快卸法蘭(lan) ，適用於(yu) 真空度可達10^-8 mbar的係統，密封材料通常包括Viton、Buna、Silicone、EPDM和鋁合金等，主體(ti) 材質通常為(wei) 不鏽鋼。KF法蘭(lan) 結構包括法蘭(lan) 、卡箍、O圈密封圈和中心定位環，利用卡箍將這些組件固定，如下圖所示。

KF法蘭(lan) 連接方式

（1：CF/KF轉接法蘭(lan) ；2：卡箍；3：中心定位環；4：O形密封圈；5：KF轉接法蘭(lan) ）

KF法蘭(lan) 的優(you) 點在於(yu) 結構簡單、使用方便，易於(yu) 安裝和拆卸。但KF法蘭(lan) 的適用管道口徑較小，*大直徑為(wei) 50mm，如果需要更大口徑的法蘭(lan) ，可以選擇ISO法蘭(lan) 。

ISO法蘭(lan) 的常用直徑為(wei) 63mm和100mm，*大直徑可達630mm，常見形式包括ISO-K和ISO-F。ISO法蘭(lan) 的真空度、密封材質及主體(ti) 材質均與(yu) KF法蘭(lan) 相同，但相關(guan) 組件略有不同。

ISO-K法蘭(lan) 結構包括法蘭(lan) 、密封圈和中心定位環，使用卡鉗進行固定，如下圖所示。

ISO-F法蘭(lan) 結構包括法蘭(lan) 、密封圈和中心定位環，采用螺栓進行固定，如下圖所示。

ISO法蘭(lan) 也可提供鋁製法蘭(lan) ，以減輕法蘭(lan) 重量。該類型法蘭(lan) 采用Viton密封，主體(ti) 材質為(wei) 鋁合金6061-T6，可與(yu) 其他ISO法蘭(lan) 和組件兼容。但相比不鏽鋼產(chan) 品，其頸部焊接線更厚。

無論是KF法蘭(lan) 還是ISO法蘭(lan) ，我們(men) 均可提供完整的產(chan) 品係統，並可根據您的需求定製O圈密封法蘭(lan) 。

三同軸浮動屏蔽真空饋通定製O圈密封法蘭(lan)

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