熱電偶真空饋通Feedthrough在真空係統中的作用

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熱電偶真空饋通Feedthrough是一種常用的真空度測量裝置，在真空係統中起著重要的作用。其主要功能是測量真空係統中的氣體(ti) 壓力，也就是真空度。以下是熱電偶真空饋通在真空係統中的作用：

真空度測量：熱電偶真空饋通是一種常見的真空度測量裝置。它利用熱電偶的原理來測量氣體(ti) 的熱導率，從(cong) 而得到真空係統中的氣體(ti) 壓力。通過測量氣體(ti) 的熱導率，可以計算出真空係統中的氣體(ti) 壓力，從(cong) 而獲得真空度的信息。

真空過程監控：在真空係統中，熱電偶真空饋通可以實時監測氣體(ti) 壓力的變化。這對於(yu) 監控真空過程的穩定性和性能非常重要。通過實時監測氣體(ti) 壓力，可以及時發現真空泄漏或其他問題，從(cong) 而保障真空係統的正常運行。

控製和調節：根據熱電偶真空饋通的測量結果，可以通過反饋控製來調節真空係統的泵速或閥門開度，以實現對真空度的控製。這在一些需要準確控製真空度的實驗和工藝中尤為(wei) 重要。

保護：熱電偶真空饋通可以作為(wei) 真空係統的保護裝置。在真空度出現異常情況時，可以觸發警報或自動停止真空泵等操作，以保障實驗設備和操作人員的安全。

熱偶型真空饋通（R/S/T）

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