真空饋通Feedthrough連接方法

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真空饋通Feedthrough的連接方式通常采用法蘭(lan) 連接的形式，其連接方法具體(ti) 步驟如下：

1、確定連接法蘭(lan) 的規格和型號，如ISO、KF、CF等。

2、清洗連接法蘭(lan) 的表麵，確保其表麵光滑、無雜質。

3、將兩(liang) 個(ge) 法蘭(lan) 對準，使其螺孔對應。

4、插入法蘭(lan) 螺栓，並用手或扳手逐個(ge) 旋緊，保證法蘭(lan) 連接緊密。

5、逐步用扭力扳手將每個(ge) 螺栓扭緊，直到達到規定的扭矩值，確保法蘭(lan) 連接牢固。

6、在連接法蘭(lan) 的密封麵之間塗抹一層真空密封劑，如石墨塗料、矽橡膠等，以確保真空密封。

真空饋通法蘭(lan) 連接時需要保證連接部位幹淨、光滑，使用合適的密封劑和扭矩扳手進行扭緊，避免過緊或過鬆導致泄漏或損壞。

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