真空電極（Feedthrough）法蘭的主要作用

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真空電極（Feedthrough）法蘭(lan) 的作用主要是在真空係統中實現電極與(yu) 真空係統之間的密封連接。法蘭(lan) 通常由兩(liang) 個(ge) 部分組成：法蘭(lan) 本體(ti) 和密封墊。法蘭(lan) 本體(ti) 是連接電極和真空係統的部分，而密封墊則用於(yu) 在法蘭(lan) 本體(ti) 與(yu) 電極之間提供一個(ge) 密封界麵，以確保真空環境的密封性。

在真空係統中，法蘭(lan) 的密封作用非常重要，因為(wei) 任何氣體(ti) 泄漏都會(hui) 導致係統的真空度下降。電極法蘭(lan) 的質量和密封性能決(jue) 定了整個(ge) 真空係統的性能和可靠性。因此，在設計和製造真空電極時，需要選擇高質量、高真空兼容性的材料，並采用適當的工藝措施來確保法蘭(lan) 的密封性能。此外，需要進行嚴(yan) 格的泄漏測試和質量控製來驗證法蘭(lan) 的密封性能。