真空饋通Feedthrough出現泄露怎麽辦

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如果真空饋通Feedthrough出現泄露，需要及時檢查並修複泄漏源。以下是一些可能導致真空饋通泄漏的原因和應對方法：

接頭密封不良：檢查接頭處是否有鬆動或損壞，並重新安裝和密封。

O形密封圈老化或損壞：更換O形密封圈並確保密封圈符合規格。

真空管道鬆動或損壞：檢查真空管道是否有鬆動或損壞，如有必要，更換或重新緊固管道。

氣壓或真空泵故障：檢查氣壓或真空泵是否正常工作，如有必要，修複或更換。

真空管道內(nei) 部雜質：清理真空管道內(nei) 部的雜質。

在修複完潛在的泄漏源之後，應該重新測試並確認真空度是否恢複正常。

Sub-D真空饋通

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