Edwards愛德華VIV電磁隔離閥

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Edwards愛德華VIV電磁隔離閥是一種高流導（11–126 l/s）、快速動作（<0.1 s）的高真空隔離閥。它可用於(yu) 防止蒸汽或顆粒從(cong) 前級泵反流回工藝腔體(ti) ，並且在電源故障時，能夠防止工藝腔體(ti) 破空。單向交流電壓和24 V直流電壓可供選擇，適用於(yu) 大多數應用。

可推薦使用VIV閥的前級泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等幹式前級泵。當VIV閥關(guan) 閉時，前級泵能夠an全破空。當前級泵停止或被停止時，VIV閥能夠保護工藝腔體(ti) 不被破空。當前級泵重新啟動時，當VIV閥內(nei) 的壓力下降（<200 mbar）時，閥門將緩慢（<15 s）打開，從(cong) 而將任何壓力突然變化的影響降至低。

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