Gamma Vacuum非蒸發型吸氣劑泵 (NEG)

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Gamma非蒸發型吸氣劑泵 (NEG)，NEG 由被壓到固態基板上或被燒結成盤狀的活性金屬製成。材料的用量控製著 NEG 泵的轉速和性能，但通常氫氣的抽速介於(yu) 50 至 3,500 ls^-1 之間。隨著 NEG 內(nei) 氣體(ti) 的飽和，它們(men) 可以在不需要破空大氣的環境下再活化。其主要優(you) 勢在於(yu) 能夠在無需電源的情況下長時間抽空。

NEG 非常適用於(yu) 抽空和維持真空應用，並且可用於(yu) 提升離子泵的性能，或單獨使用抽真空。由於(yu) 其尺寸緊湊、H2 抽速較高，因此是 UHV 應用的理想選擇。它們(men) 通常並不適用於(yu) 頻繁從(cong) 大氣壓下開始抽真空應用，因為(wei) 這會(hui) 使表麵飽和，並且它們(men) 僅(jin) 可在有限的次數內(nei) 進行再活化。

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