真空傳輸閥可允許漏率是多少？

問：真空傳(chuan) 輸閥可允許漏率是多少？

答：與(yu) 之前介紹的閘閥可允許漏率不同，真空傳(chuan) 輸閥的可允許漏率分別為(wei) Stain Less : < 1×10-9 mbar ℓ/sec 與(yu) Aluminum : < 1×10-5 mbar ℓ/sec。

真空傳(chuan) 輸閥

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