什麽是真空漏率？

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所謂真空漏率是指相對負壓封閉空間進入氣體(ti) 的速率。真空閘閥在出廠前需要對漏率進行檢測，查看漏氣率是否符合要求。

通常漏氣可分為(wei) 實漏和虛漏。

實漏：氣體(ti) 通過係統上的漏孔或間隙從(cong) 高壓側(ce) 流到低壓側(ce) 的現象。

虛漏：相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由於(yu) 材料放氣、解吸、凝結氣體(ti) 的再蒸發、氣體(ti) 通過器壁的滲透及係統內(nei) 死空間中氣體(ti) 的流出等原因引起真空係統中氣體(ti) 壓力升高的現象。氣密性是表征真空係統器壁防止氣體(ti) 滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。

而真空技術中所指的漏孔，由於(yu) 尺寸微小、形狀複雜、形式多樣，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率(簡稱為(wei) 漏率)表示漏孔的大小。

特殊真空閘閥

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