高真空閘閥可允許漏率是多少？

問：高真空閘閥可允許漏率是多少？

答：不同型號、應用環境對真空閘閥的漏率要求會(hui) 有所差別，高真空閘閥的可允許漏率應< 1×10^-10 mbar ℓ/sec。

高真空閘閥

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