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真空閘閥
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真空微漏閥是一種用於(yu) 控製和調節真空係統壓力的裝置。它的主要作用是允許氣體(ti) 從(cong) 真空係統中流出,以便維持係統的穩定壓力。當真空係統中的壓力超過微漏閥設定的壓力時,微漏閥會(hui) 打開,使氣體(ti) 流出係統。當係統壓力下降到微漏閥設定的壓力以下時,微漏閥會(hui) 關(guan) 閉,以保持係統壓力穩定。
真空微漏閥通常由一個(ge) 閥體(ti) 和一個(ge) 閥芯組成。閥芯通過一個(ge) 彈簧與(yu) 閥體(ti) 相連,當係統壓力超過設定值時,閥芯被壓縮並打開閥門。當係統壓力降低到設定值以下時,彈簧推動閥芯關(guan) 閉閥門。
真空微漏閥廣泛應用於(yu) 半導體(ti) 、光學和實驗室設備等領域的真空係統中。它們(men) 通常被用來控製和調節真空係統的壓力,以確保係統的穩定性和可靠性。
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